RBS는 Rutherford Backscattering Spectrometry를 의미한다. 간단히 He +를 Sample에 충돌시켜, Backscattering이 되어 다시 돌아온 He+의 에너지를 가지고 분광기로 사용한다. RBS는 어떤 원리로 동작하는가? 위처럼 아래 Sample이 있다고 가정을 하고 0.5~4MeV에 해당하는 에너지로 He++ 이온을 샘플에 충돌시킨다.충돌한 He 이온은 Sample에 존재하는 원자와 충돌하며 큰 각도를 갖고 Sample 밖으로 다시 튀어나오게 된다. 이때 He 이온이 충돌 후 갖고 있는 에너지를 가지고 Sample의 chemical composition을 확인 할 수 있다. 위 처럼 무거운 Element일 수록 He이온이 더 큰 에너지를 가지고 튀어나온다.그리고 반..
