이번에는 DRAM(Dynamic Random Access Memory) 소자의 최근 발전에 대해서 이야기 해보고자 합니다. 사실 DRAM이라기보다 좀 더 넓혀서 Transistor의 발전 방향이라고 해도 무방할 것 같네요.DRAM Capacitor의 발전 방향1975년에 Trench Capacitor DRAM이 처음 특허로 출헌 되었을 때가 위 사진의 모습입니다. 우측의 SEM 이미지를 보시면 아시겠지만, 저희가 익히 알고 있는 1T 1C의 구조를 가지고 있죠. Gate가 존재하고 옆에 Trench 구조로 파여져 Capacitor를 구성하고 있습니다. 현재는 조금 더 발전한 구조로 DRAM의 구조가 이루어져 있죠. 같은 면적에서 더 많은 Capacitor 용량을 구현하기 위한 발전. 그리고 Scaling..