반도체 연구 일지

RBS(Rutherford Back Scattering Spectroscopy)는 경원소 측정은 어렵다.신뢰도가 매우 낮고 Yield 자체가 낮기 때문에 불가능하다고 봐도 된다.그래서 RBS와 ERD의 조합으로 사용을 많이 한다.ERD는 경원소의 측정이 용이하기 때문이다. RBS에 대한 글은 아래에 있다. https://wanstradamus.tistory.com/3 RBS(Rutherford Back Scattering Spectrometry) 측정장비 원리, 분석, Principle, Measurement, AnalysisRBS는 Rutherford Backscattering Spectrometry를 의미한다. 간단히 He +를 Sample에 충돌시켜, Backscattering이 되어 다시 돌아온 ..

RBS는 Rutherford Backscattering Spectrometry를 의미한다. 간단히 He +를 Sample에 충돌시켜, Backscattering이 되어 다시 돌아온 He+의 에너지를 가지고 분광기로 사용한다. RBS는 어떤 원리로 동작하는가? 위처럼 아래 Sample이 있다고 가정을 하고 0.5~4MeV에 해당하는 에너지로 He++ 이온을 샘플에 충돌시킨다.충돌한 He 이온은 Sample에 존재하는 원자와 충돌하며 큰 각도를 갖고 Sample 밖으로 다시 튀어나오게 된다. 이때 He 이온이 충돌 후 갖고 있는 에너지를 가지고 Sample의 chemical composition을 확인 할 수 있다. 위 처럼 무거운 Element일 수록 He이온이 더 큰 에너지를 가지고 튀어나온다.그리고 반..