반도체 연구 일지

XRF(Xray Fluorescence Spectroscopy)는 Sample의 화학적인 구성을 알아내는데 매우 유용한 장비입니다. XRF는 몇 가지 종류가 존재하죠. 크게 2가지로 생각해볼 수 있습니다. XRF장비의 종류크게 위 두가지로 분류를 할 수 있습니다.ED-XRF(Energy Dispersive) 그리고 WD-XRF(Wave Length Dispersive)ED-XRF는 Energy Dispersive 방식으로 한 번에 다양한 파장대의 X-ray를 입사 시켜서 Detector로 원소를 판별하는 방식이고 구성요소가 간단합니다. Handy하게 손에 들고 다니며 원소를 분석하는 XRF는 ED-XRF방식이라고 보시면 됩니다. 가끔 뉴스 같은 걸 보면 사람들이 들고다니면서 원소를 분석할 때가 있는데, ..

SIMS는 Secondary Ion Mass Spectroscopy라고 합니다.이차 이온 질량 분석기라고 부르고 Spectroscopy니깐 당연히 분광기로 활용을 합니다.SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy) 원리 MechanismSIMS는 Ion gun에서 나온 일차이온(Primary ion)을 샘플에 주사하게 되면, Sputtering으로 인해 이차 이온(Secondary Ion)이 발생하게 됩니다. 그리고 이때, 발생한 Secondary ion을 이용해서 Mass Anaylzer로 분석을 하여 분광기로 활용을 하는 방식입니다.한 마디로, SIMS는 Sputtering 현상을 이용해서 표면을 깍으면서 발생하는 sample의 이차 이온을 통해 분석을 하는 것입니다. samp..

Auger Electron Spectroscopy(AES)라고 불리는 분석 장비에 대해 알아보겠습니다. 오제 전자 분광기로 불리는 AES는 Auger Effect를 활용한 분석 장비입니다.그렇다면 Auger Electron은 무엇일까요? AES(Auger Electron Spectroscopy); Auger Effect/Electron이란 무엇일까?Auger Electron(오제 전자)는 외부에서 인가되는 electron beam(Incident Particle)이 원자의 inner shell 전자에 충돌하게 되면 inner shell에 위치하고 있던 core electron이 에너지를 얻어 방출이 되게 됩니다. 이때, inner shell에 vacancy가 생기게 되는데, 이 vacancy는 매우 불안..

SEM과 TEM은 세트로 불릴 만큼 유사한 카테고리로 묶여있습니다. SEM은 아래 글에 정리를 해놨으니 읽어보시면 될 것 같습니다.  SEM(Scanning Electron Microscope) Principle 원리, 분석, 장점SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)wanstradamus.tistory.com  TEM(Transmittion Electron Microscope) 주사형투과전자현미경은 무엇인가?TEM이란 전자빔을 이용해서 얇은 시료를 투과시키고, 투과 된 전자 빔을 전자 렌즈로 확대하여 관찰하는 ..