반도체 연구 일지

SEM과 TEM은 세트로 불릴 만큼 유사한 카테고리로 묶여있습니다. SEM은 아래 글에 정리를 해놨으니 읽어보시면 될 것 같습니다.  SEM(Scanning Electron Microscope) Principle 원리, 분석, 장점SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)wanstradamus.tistory.com  TEM(Transmittion Electron Microscope) 주사형투과전자현미경은 무엇인가?TEM이란 전자빔을 이용해서 얇은 시료를 투과시키고, 투과 된 전자 빔을 전자 렌즈로 확대하여 관찰하는 ..

SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)와 비교를 해보겠습니다. 좌측 광학 현미경 그리고 우측 전자현미경 중 SEM의 이미지입니다. 광학 현미경은 0.4nm ~ 0.7nm(가시광선) 광원을 사용하고 렌즈를 통해서 빛을 모아 현미경으로 사용을 합니다.해상도(Resolution)은 0.2μm(@0.4nm)정도의 성능을 보입니다. 전자 현미경 SEM은 전자 빔을 사용하고 ~pm(@300keV)의 에너지를 가진 전자빔이 주사가 됩니다.이때, 전자는 렌즈로 수렴시킬 수 없기 때문에 Electromagnetic Lens를 통..

RBS는 Rutherford Backscattering Spectrometry를 의미한다. 간단히 He +를 Sample에 충돌시켜, Backscattering이 되어 다시 돌아온 He+의 에너지를 가지고 분광기로 사용한다. RBS는 어떤 원리로 동작하는가? 위처럼 아래 Sample이 있다고 가정을 하고 0.5~4MeV에 해당하는 에너지로 He++ 이온을 샘플에 충돌시킨다.충돌한 He 이온은 Sample에 존재하는 원자와 충돌하며 큰 각도를 갖고 Sample 밖으로 다시 튀어나오게 된다. 이때 He 이온이 충돌 후 갖고 있는 에너지를 가지고 Sample의 chemical composition을 확인 할 수 있다. 위 처럼 무거운 Element일 수록 He이온이 더 큰 에너지를 가지고 튀어나온다.그리고 반..