반도체 연구 일지

Ellipsometer(일립소미터) 장점Ellipsometer, 또는 Ellipsometry는 굉장히 간단하고 빠른측정비기 때문에 반도체 분석, 박막 분석에 자주 사용이 되는 장비입니다. 뿐만아니라 비파괴적인 방식이고 Darkroom(암식)을 필요로 하지 않습니다. 대부분의 반도체 장비들이 진공을 요구하는 것과 달리 진공이 필요한 장비도 아니구요. 그래서 반복해서 여러차례 분석을 진행하여도 무리가 없습니다.위 장점중에서 그래도 가장 큰 장점은 빠른 것입니다. 장비에 올려놓은 샘플을 클릭 몇번으로 두께와 같은 데이터를 얻을 수 있으니 굉장히 유용합니다. 그리고 기타 다른 두께를 측정하는 장비에 비해서도 굉장히 높은 재현성과 정확도를 가지고 있습니다. TEM으로 샘플의 단면을 확인하여 두께를 측정하지 않는 ..

Raman은 분광기로 사용이 되는 반도체 장비 중 하나입니다. Raman이 어떤 원리로 동작하는지, 어떻게 분광기로 활용이 되는지 정리해보겠습니다.Raman Spectroscopy(라만 분광기) 동작 원리, Mechanism라만 분광기는 레이저를 Sample의 분자에 입사 시켜 산란 광선을 이용하는 장비입니다. Sample에 주사 된 레이저는 경로상의 분자에 부딪히게 될 때 빛이 산란되게 되는데 이때 빛의 색이 바뀌게 됩니다(파장의 변화 발생). 결국, 색상의 변함 정도가 초기의 레이저의 입사광에서 얼마나 Shift되었는가? 를 나타내기 때문에 x축을 Raman Shift, y축을 Intensity로 결과를 내놓게 됩니다. Laer가 Sample에 조사되었을 때, 분자랑 빛 입자와 충돌하며 Scatter..

XRF(Xray Fluorescence Spectroscopy)는 Sample의 화학적인 구성을 알아내는데 매우 유용한 장비입니다. XRF는 몇 가지 종류가 존재하죠. 크게 2가지로 생각해볼 수 있습니다. XRF장비의 종류크게 위 두가지로 분류를 할 수 있습니다.ED-XRF(Energy Dispersive) 그리고 WD-XRF(Wave Length Dispersive)ED-XRF는 Energy Dispersive 방식으로 한 번에 다양한 파장대의 X-ray를 입사 시켜서 Detector로 원소를 판별하는 방식이고 구성요소가 간단합니다. Handy하게 손에 들고 다니며 원소를 분석하는 XRF는 ED-XRF방식이라고 보시면 됩니다. 가끔 뉴스 같은 걸 보면 사람들이 들고다니면서 원소를 분석할 때가 있는데, ..

SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)와 비교를 해보겠습니다. 좌측 광학 현미경 그리고 우측 전자현미경 중 SEM의 이미지입니다. 광학 현미경은 0.4nm ~ 0.7nm(가시광선) 광원을 사용하고 렌즈를 통해서 빛을 모아 현미경으로 사용을 합니다.해상도(Resolution)은 0.2μm(@0.4nm)정도의 성능을 보입니다. 전자 현미경 SEM은 전자 빔을 사용하고 ~pm(@300keV)의 에너지를 가진 전자빔이 주사가 됩니다.이때, 전자는 렌즈로 수렴시킬 수 없기 때문에 Electromagnetic Lens를 통..