SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)와 비교를 해보겠습니다. 좌측 광학 현미경 그리고 우측 전자현미경 중 SEM의 이미지입니다. 광학 현미경은 0.4nm ~ 0.7nm(가시광선) 광원을 사용하고 렌즈를 통해서 빛을 모아 현미경으로 사용을 합니다.해상도(Resolution)은 0.2μm(@0.4nm)정도의 성능을 보입니다. 전자 현미경 SEM은 전자 빔을 사용하고 ~pm(@300keV)의 에너지를 가진 전자빔이 주사가 됩니다.이때, 전자는 렌즈로 수렴시킬 수 없기 때문에 Electromagnetic Lens를 통..
