반도체 연구 일지

XPS를 통해서 저희는 많은 정보를 얻을 수 있습니다. 고진공을 사용해야하는 장비이기 때문에 간편하게 측정을 할 수 있는 장비는 아니고 시료에 따라서 sample이 charge up 될 수 있기 때문에 neutralizer를 사용해서 charging effect를 상쇄해줘야 하기도 하죠. 하지만, 그런 과정을 거쳐서 XPS 데이터를 얻게 되면 저희는 굉장히 많은 정보를 얻을 수 있습니다. Survey data를 통해서는 Low binding Energy부터 High binding Energy까지 일련의 data를 모두 얻기 때문에 sample에 포함되어있는 원소들을 알아낼 수 있기 때문에 시료의 화학적인 조성을 알아낼 수 있습니다. 전체적인 데이터를 얻기에 Binding Energy를 표시하는 x 축 상..

SEM과 TEM은 세트로 불릴 만큼 유사한 카테고리로 묶여있습니다. SEM은 아래 글에 정리를 해놨으니 읽어보시면 될 것 같습니다.  SEM(Scanning Electron Microscope) Principle 원리, 분석, 장점SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)wanstradamus.tistory.com  TEM(Transmittion Electron Microscope) 주사형투과전자현미경은 무엇인가?TEM이란 전자빔을 이용해서 얇은 시료를 투과시키고, 투과 된 전자 빔을 전자 렌즈로 확대하여 관찰하는 ..