SIMS는 Secondary Ion Mass Spectroscopy라고 합니다.이차 이온 질량 분석기라고 부르고 Spectroscopy니깐 당연히 분광기로 활용을 합니다.SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy) 원리 MechanismSIMS는 Ion gun에서 나온 일차이온(Primary ion)을 샘플에 주사하게 되면, Sputtering으로 인해 이차 이온(Secondary Ion)이 발생하게 됩니다. 그리고 이때, 발생한 Secondary ion을 이용해서 Mass Anaylzer로 분석을 하여 분광기로 활용을 하는 방식입니다.한 마디로, SIMS는 Sputtering 현상을 이용해서 표면을 깍으면서 발생하는 sample의 이차 이온을 통해 분석을 하는 것입니다. samp..
