반도체 연구 일지

DRAM의 발전 방향은 위의 논문을 일부 참고하여 글을 작성하였습니다. DRAM동작 원리와 구조는 아래 글에서 설명되어 있습니다. DRAM Capacitor의 구조와 동작 원리 그리고 발전 방향DRAM(Dynamic Random Access Memory)는 무엇인가?컴퓨터는 폰 노이만 구조(von Neumann Architecture)에 따라서 Central Processing Unit인 CPU 그리고 메모리 장치가 분리된 구조를 가지고 있습니다. 그렇기 때문에 CPU는wanstradamus.tistory.com  DRAM의 발전은 어떻게 이루어지고 있는가?DRAM은 위와 같이 끊임 없이 미세화가 되고 있습니다. 그에 따라서 Capacitance는 효율적으로 유지하면서 집적화를 시키는 것이 매우 중요해졌..

ALD(Atomic Layer Deposition)이 왜 등장했을까?ALD(Atomic Layer Deposition)은 반도체 공정에서 필수적인 장비가 되었습니다. 반도체 기판이 전기적인 특성을 갖기 위해서는 특정한 구조로 박막을 증착해야 합니다. 그리고 기존에는 CVD 또는 PVD 방식을 사용하였죠. 하지만, 3D NAND가 500단을 넘어서고 Logic 반도체들은 GAA 구조와 같은 복잡한 3D구조를 갖기 시작했습니다. 이런 High Aspect Ratio를 갖는 구조에 Uniform하고 Conformal하고 Quality가 우수한 박막을 쌓기 위해서 없어서는 안될 기술이 ALD입니다. 위는 3D NAND Flash를 나타내는 그림입니다. 흔히 Vertical하게 쌓아 올렸다고 해서 V-NAND라고..