반도체 연구 일지

SIMS는 Secondary Ion Mass Spectroscopy라고 합니다.이차 이온 질량 분석기라고 부르고 Spectroscopy니깐 당연히 분광기로 활용을 합니다.SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy) 원리 MechanismSIMS는 Ion gun에서 나온 일차이온(Primary ion)을 샘플에 주사하게 되면, Sputtering으로 인해 이차 이온(Secondary Ion)이 발생하게 됩니다. 그리고 이때, 발생한 Secondary ion을 이용해서 Mass Anaylzer로 분석을 하여 분광기로 활용을 하는 방식입니다.한 마디로, SIMS는 Sputtering 현상을 이용해서 표면을 깍으면서 발생하는 sample의 이차 이온을 통해 분석을 하는 것입니다. samp..

Auger Electron Spectroscopy(AES)라고 불리는 분석 장비에 대해 알아보겠습니다. 오제 전자 분광기로 불리는 AES는 Auger Effect를 활용한 분석 장비입니다.그렇다면 Auger Electron은 무엇일까요? AES(Auger Electron Spectroscopy); Auger Effect/Electron이란 무엇일까?Auger Electron(오제 전자)는 외부에서 인가되는 electron beam(Incident Particle)이 원자의 inner shell 전자에 충돌하게 되면 inner shell에 위치하고 있던 core electron이 에너지를 얻어 방출이 되게 됩니다. 이때, inner shell에 vacancy가 생기게 되는데, 이 vacancy는 매우 불안..