반도체 연구 일지

XPS를 통해서 저희는 많은 정보를 얻을 수 있습니다. 고진공을 사용해야하는 장비이기 때문에 간편하게 측정을 할 수 있는 장비는 아니고 시료에 따라서 sample이 charge up 될 수 있기 때문에 neutralizer를 사용해서 charging effect를 상쇄해줘야 하기도 하죠. 하지만, 그런 과정을 거쳐서 XPS 데이터를 얻게 되면 저희는 굉장히 많은 정보를 얻을 수 있습니다. Survey data를 통해서는 Low binding Energy부터 High binding Energy까지 일련의 data를 모두 얻기 때문에 sample에 포함되어있는 원소들을 알아낼 수 있기 때문에 시료의 화학적인 조성을 알아낼 수 있습니다. 전체적인 데이터를 얻기에 Binding Energy를 표시하는 x 축 상..

XPS(Xray Photoelectron Spectroscopy)UPS(Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy) 두 가지 방법은 sample의 surface analysis를 위해 사용하는 방식 중 하나입니다. XPS(Xray Photoelectron Spectroscopy)XPS는 어떤 현상을 이용하여 측정 하는가? XPS는 광전자(Photoelectronic)의 방출(emission)을 활용하는 분석 장비입니다.간단히 Second electron의 emission을 Detecting하여 해당 electron의 운동에너지(Kinetic Energy)를 Detection하는 장비라고 보시면 됩니다.  위의 그림처럼 Solid State는 원자들이 무수히 많이 존재하기 때문에..