반도체 8대 공정을 쭉 나열해보고 그 중에 가장 중요한 공정이 무엇인가 굳이 꼽으라면 아마 노광 공정(Photo Lithography)공정을 꼽는 사람이 많을겁니다. 증착(Deposition)을 하고 또 박막을 깎아내는 식각(Etching)을 반복하면서 결국 만들어야하는 것은 결국 설계한 패턴 마스크를 구현하기 위한 반복 공정이죠. 결국 미세한 반도체 소자를 만들기 위해서는 무엇보다 우수한 노광 장비가 필요합니다. 제한 된 Wafer 공간 위에 더 많은 Transistor와 같은 소자들을 집적하여 생산능력과 전력 효율을 높이기 위해서는 결국 극도로 미세한 회로를 새겨 넣는 노광 공정이 굉장히 중요하기 때문이죠.Photolithography 장비의 발전Photolithography 노광 장비는 결국 매우 ..
