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Ellipsometer 반도체 장비 동작 원리, Mechanism, 장단점, 결과 분석 엘립소메트리

Ellipsometer(일립소미터) 장점Ellipsometer, 또는 Ellipsometry는 굉장히 간단하고 빠른측정비기 때문에 반도체 분석, 박막 분석에 자주 사용이 되는 장비입니다. 뿐만아니라 비파괴적인 방식이고 Darkroom(암식)을 필요로 하지 않습니다. 대부분의 반도체 장비들이 진공을 요구하는 것과 달리 진공이 필요한 장비도 아니구요. 그래서 반복해서 여러차례 분석을 진행하여도 무리가 없습니다.위 장점중에서 그래도 가장 큰 장점은 빠른 것입니다. 장비에 올려놓은 샘플을 클릭 몇번으로 두께와 같은 데이터를 얻을 수 있으니 굉장히 유용합니다. 그리고 기타 다른 두께를 측정하는 장비에 비해서도 굉장히 높은 재현성과 정확도를 가지고 있습니다. TEM으로 샘플의 단면을 확인하여 두께를 측정하지 않는 ..

반도체 공부 2024.05.13

Raman Spectroscopy 라만 분광기, 반도체 장비 작동원리 구성요소 장단점 Mechanism

Raman은 분광기로 사용이 되는 반도체 장비 중 하나입니다. Raman이 어떤 원리로 동작하는지, 어떻게 분광기로 활용이 되는지 정리해보겠습니다.Raman Spectroscopy(라만 분광기) 동작 원리, Mechanism라만 분광기는 레이저를 Sample의 분자에 입사 시켜 산란 광선을 이용하는 장비입니다. Sample에 주사 된 레이저는 경로상의 분자에 부딪히게 될 때 빛이 산란되게 되는데 이때 빛의 색이 바뀌게 됩니다(파장의 변화 발생). 결국, 색상의 변함 정도가 초기의 레이저의 입사광에서 얼마나 Shift되었는가? 를 나타내기 때문에 x축을 Raman Shift, y축을 Intensity로 결과를 내놓게 됩니다. Laer가 Sample에 조사되었을 때, 분자랑 빛 입자와 충돌하며 Scatter..

반도체 공부 2024.05.12

XRF(Xray Fluorescence Spectroscopy) X선 형광 분광기, 원리 장단점 분석 방식 Mechanism, 반도체 분석 장비

XRF(Xray Fluorescence Spectroscopy)는 Sample의 화학적인 구성을 알아내는데 매우 유용한 장비입니다. XRF는 몇 가지 종류가 존재하죠. 크게 2가지로 생각해볼 수 있습니다. XRF장비의 종류크게 위 두가지로 분류를 할 수 있습니다.ED-XRF(Energy Dispersive) 그리고 WD-XRF(Wave Length Dispersive)ED-XRF는 Energy Dispersive 방식으로 한 번에 다양한 파장대의 X-ray를 입사 시켜서 Detector로 원소를 판별하는 방식이고 구성요소가 간단합니다. Handy하게 손에 들고 다니며 원소를 분석하는 XRF는 ED-XRF방식이라고 보시면 됩니다. 가끔 뉴스 같은 걸 보면 사람들이 들고다니면서 원소를 분석할 때가 있는데, ..

반도체 공부 2024.05.10

SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy) 이차이온 질량 분석기, 원리 장단점 분석방법 SIMS Mechanism

SIMS는 Secondary Ion Mass Spectroscopy라고 합니다.이차 이온 질량 분석기라고 부르고 Spectroscopy니깐 당연히 분광기로 활용을 합니다.SIMS(Secondary Ion Mass Spectroscopy) 원리 MechanismSIMS는 Ion gun에서 나온 일차이온(Primary ion)을 샘플에 주사하게 되면, Sputtering으로 인해 이차 이온(Secondary Ion)이 발생하게 됩니다. 그리고 이때, 발생한 Secondary ion을 이용해서 Mass Anaylzer로 분석을 하여 분광기로 활용을 하는 방식입니다.한 마디로, SIMS는 Sputtering 현상을 이용해서 표면을 깍으면서 발생하는 sample의 이차 이온을 통해 분석을 하는 것입니다. samp..

반도체 공부 2024.05.09

AES(Auger Electron Spectroscopy) 오제 전자 분광기 원리, 장단점, 분석방식

Auger Electron Spectroscopy(AES)라고 불리는 분석 장비에 대해 알아보겠습니다. 오제 전자 분광기로 불리는 AES는 Auger Effect를 활용한 분석 장비입니다.그렇다면 Auger Electron은 무엇일까요? AES(Auger Electron Spectroscopy); Auger Effect/Electron이란 무엇일까?Auger Electron(오제 전자)는 외부에서 인가되는 electron beam(Incident Particle)이 원자의 inner shell 전자에 충돌하게 되면 inner shell에 위치하고 있던 core electron이 에너지를 얻어 방출이 되게 됩니다. 이때, inner shell에 vacancy가 생기게 되는데, 이 vacancy는 매우 불안..

반도체 공부 2024.05.09

TEM(Transmittion Electron Microscope) 주사형투과전자현미경 원리 장단점 분석 방법

SEM과 TEM은 세트로 불릴 만큼 유사한 카테고리로 묶여있습니다. SEM은 아래 글에 정리를 해놨으니 읽어보시면 될 것 같습니다.  SEM(Scanning Electron Microscope) Principle 원리, 분석, 장점SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)wanstradamus.tistory.com  TEM(Transmittion Electron Microscope) 주사형투과전자현미경은 무엇인가?TEM이란 전자빔을 이용해서 얇은 시료를 투과시키고, 투과 된 전자 빔을 전자 렌즈로 확대하여 관찰하는 ..

반도체 공부 2024.05.08

SEM(Scanning Electron Microscope) Principle 원리, 분석, 장점

SEM은 electron을 사용하여 측정을 하는 분석 방식입니다. 표면을 매우 높은 해상도로 분석을 할 수 있는 Microscope(현미경)인 것이죠. 그렇다면, 빛을 이용하는 일반적인 광학 현미경(Optical Microscope)와 비교를 해보겠습니다. 좌측 광학 현미경 그리고 우측 전자현미경 중 SEM의 이미지입니다. 광학 현미경은 0.4nm ~ 0.7nm(가시광선) 광원을 사용하고 렌즈를 통해서 빛을 모아 현미경으로 사용을 합니다.해상도(Resolution)은 0.2μm(@0.4nm)정도의 성능을 보입니다. 전자 현미경 SEM은 전자 빔을 사용하고 ~pm(@300keV)의 에너지를 가진 전자빔이 주사가 됩니다.이때, 전자는 렌즈로 수렴시킬 수 없기 때문에 Electromagnetic Lens를 통..

반도체 공부 2024.05.06

나노기술교육과정-수강신청 팁, 교육 후기, 시험 후기

이전부터 해보고 싶었던 것들 중에 IDEC 이론 교육과 나노기술교육과정 교육을 수강하고 싶었다. 수료증이 나오기 때문에 언젠가 써먹을 수 있을 것 같기도 했고 학부 교육 외에 추가적인 학습을 위해서였다.​IDEC은 선착순으로 신청을 하기 때문에 어느정도 나의 능력 껏 신청을 했었는데, 나노기술교육 교육 과정은 신청 후 랜덤으로 선발이 되기 때문에, 운이 꽤 따른다. 선발 방법경쟁률은 대충 1705명 중 500명을 선발하므로 3.41 : 1 정도였다. 운이 좋게도 선발이 됐다. 친구 몇명도 신청을 했는데 다 떨어졌다는데 이상하게 올해는 내가 운이 많이 따라주는 것 같다.  팁이라고 할 건 없었지만, 그래도 꾸준히 여러번 신청을 해봐야 확률을 높일 수 있기 때문에 최대한 이른 시기에 많이 알아보고 신청하는 ..

스펙 쌓기 2024.05.02

SK-Hypo 2기 최종합격, 후기, 팁

https://wanstradamus.tistory.com/5 SK 하이닉스 청년 Hy-Po 2기 합격 후기, 지원 방법, 서류 면접 후기2달 정도 전에 SK Hynix에서 진행하는 반도체 직무 교육 프로그램이 있다는 걸 알게 되어서 지원을 하게 되었다. 남들과 비슷한 전공공부를 하고 학점이 남들보다 조금 좋다고 날 뽑아 줄 것 같지wanstradamus.tistory.com위는 이전 서류~면접 과정을 정리한 글이다. 서류 결과와 같이 면접 결과도 오후 4시에 발표가 났다. 한 달 정도를 기다렸기 때문에, 생각보다 오래 기다렸는데 시험기간이기도 하고 생각해보니 방학 때, 할게 많아서 떨어져도 괜찮다는 생각을 했다. 방학 8주 전체를 매일 오전 9시부터 오후 6시까지 투자하는게 효율적인건가 생각을 하다보니..

스펙 쌓기 2024.05.02

SK 하이닉스 청년 Hy-Po 2기 합격 후기, 지원 방법, 서류 면접 후기

2달 정도 전에 SK Hynix에서 진행하는 반도체 직무 교육 프로그램이 있다는 걸 알게 되어서 지원을 하게 되었다. 남들과 비슷한 전공공부를 하고 학점이 남들보다 조금 좋다고 날 뽑아 줄 것 같지는 않으니까 뭐라도 해야 할 것 같았다. ​그래서 포항공대 반도체 소자 연구실에서 연구참여도 해보고, 현대에서 하는 교육봉사에 참여해서 팀프로젝트도 해보고 이것저것 해봤다. 그리고 이번에 SK Hynix에서 주관하는 청년 Hypo도 그런 의미로 지원하게 되었다. 서류 제출하기(살면서 처음 써보았던 자기소개서)​이 Hy-Po에 지원하면서 사실 떨어져도 좋다고 생각했던 점은 실제 SK-Hynix의 채용과정과 상당히 유사하다는 것이었다. 심지어 자소서 항목 4개가 완벽하게 똑같기 때문에 지금 머리 굴리면서 미리 써두..

스펙 쌓기 2024.05.02
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